描述
- ■型号：MPS150-C
- ■MPS150-C 是增强型手动分析探针台，为各种半导体芯片、微波器件等提供光电参数测试分析等功能。
- ■适用于大学、实验室、大生产线对芯片进行科研分析、抽查测试等用途。
- ■盘片最大可支持 6 寸盘片，能够依据实际需求，灵活对 2 寸、4 寸、5 寸以及 6 寸盘片展开测量。
- ■配备万能显微镜支架，其高度、角度等调节功能丰富，能适配多种显微镜，轻松应对各类复杂观测需求。
- ■显微镜，针座，承片台均支持三维调整，承片台同时支持旋转调。
- ■设备提供三维可调的探针测试针座及探卡测试针座。
- ■承片台可单独外拉，且配备 3 路独立真空控制系统，能根据实际工况精准调控，确保测量过程稳定可靠。
- ■通过左边的扳手调整针座升降，对芯粒进行解除和分离操作。
- ■支持仪表软件定制开发。
规格参数
| 性能参数 | 技术指标 | |
|---|---|---|
| 可测圆片尺寸 | 2″、3″、4″、6″ | |
| 工作台 | 行程 | 155mm×155mm |
| 结构 | 精密直线导轨，滚珠丝杠 | |
| 分辨率 | 0.001mm-0.01mm（根据需求丝杆导程可选） | |
| 操作方式 | 手轮 | |
| 承片台 | 抽屉外拉 | 支持承片台总体抽屉外拉 |
| 吸片方式 | 真空吸附 | |
| Z向接触/分离 | 行程0.5mm | |
| θ向微调范围 | ±15度 | |
| 显微镜 | 固定方式 | 万能显微镜支架,固定前可任意调整,不支持运行中三维调整 |
| 放大系数 | 双目体视显微镜90X | |
| 照明灯 | LED环形灯 | |
| 相关配件 | 测试探针 | 高弹性钨针 |
| 三维针座 | 磁性吸附式，可调范围：x: ±6.5mm， y: ±6.5mm，z: ±6.5mm | |
| 外形尺寸 | 500mm×500mm×550mm（长×宽×高） | |
| 设备重量 | 约30 KG | |
| 使用环境 | 电源 | AC 220V±22V 50Hz±1Hz |
| 功率 | 0.05kW | |
| 真空 | -80 KPa | |
| 环境温度 | 15ºC-30ºC | |
| 相对湿度 | ＜70% | |
