描述
- ■型号：XH-AFPMS-600
- ■XH-AFPMS-600 专为硅材质工件打造，具备自动四探针电阻率自动测量功能。
- ■能够精准测定硅材质工件的电阻率，满足半导体行业等对硅材料电学性能检测的严格需求。
- ■采用先进的单独运动控制数据采集一体机，与四探针测试仪表协同工作，以此完成电阻率自动测量流程。
- ■选用成熟可靠的四探测量针仪表进行电阻率测量。此类仪表在行业内经过长期实践验证，具有极高的测量精度，从根本上确保了对硅材质工件电阻率测量结果的准确性，为生产和科研提供可靠的数据支撑。
- ■设备与四探针仪表通过 RS232 接口实现稳定衔接。由测量机负责发起测试指令，在测试完成后，迅速读取测量数据，并完成数据的存储与分析工作。
- ■具备工件自动上下料、运动控制以及自动测量控制等多项自动化功能。
- ■用户可根据自身实际需求灵活选择设备配置。既可以单独选用测量机，满足基础的电阻率测量需求；也可以选用配合机械手的全自动版本，进一步提高自动化程度与生产效率，适用于大规模生产检测场景。
- ■在设备出厂前，四探针仪表经过国家计量局严格计量并通过认证，同时为用户提供权威的计量证书。
- ■支持仪表软件定制开发。
规格参数
| 性能参数 | 技术指标 | |
|---|---|---|
| 可测范围 | 内径 | 200mm - 430mm |
| 外径 | 208mm - 633mm | |
| 厚度 | 3mm - 118.6mm | |
| 支持工件 | 工件类型 | 圆饼型，圆环型，方型 |
| 工件尺寸 | 38 - 60cm | |
| 软件智能XYZ 平台 | 定位精度 | 2μm |
| 重复定位精度 | 1μm | |
| 精度 | 图像识别精度 | 1μm |
| 电阻率测量精度 | 精度3% | |
| 固定点重复性 | 3% | |
| 检测节拍 | 6秒/每点*4+运行时间 4秒/点*4 ，总共不超过40秒 | |
| 使用环境 | 电源 | AC 220V±22V 50Hz±1Hz |
| 所需气压 | > 0.5Mp | |
| 环境温度 | 15ºC-30ºC | |
| 相对湿度 | ＜70% | |
