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APS6000-B

描述

  • 型号:APS6000-B
  • APS6000-B 是全自动探针台,为芯片提供测量功能。
  • 具备强大的芯片适配能力,可支持 6 寸芯片的精准测量。
  • 软件系统智能高效,拥有自动扫平功能,能快速校准测量平面,极大提升测量起始阶段的效率。
  • 指定定位首粒功能更是精准无比,能够依据设定要求,快速锁定芯片上的首粒测量点。
  • 从芯片上料至测量完成后的下料,全程自动化运行,减少人工干预,加快芯片测量流程的流转速度,提高整体工作效率。
  • 在打点操作方面,同时支持在线与离线两种模式,满足不同场景下的标记需求。
  • 支持仪表软件定制开发。

规格参数

性能参数 技术指标
可测片径 4″、5″、6″
软件智能 扫平(对准) 软件自动扫平对准
定位(首粒) 软件自动定位首粒
工作台 定位精度 ≤±0.015mm
进步分辨率 0.001mm
承片台 Z向行程 8mm
Z向定位精度 ≤±0.005mm
Z向分辨率 0.001mm
θ向调节范围 ±10°
θ向分辨率 0.001°
观察装置 双目体视显微镜 ,放大倍数7.5X~45X
遮光罩装置 选配
上、下片方式 自动上下片(一次性料盒内支持18片)
外形尺寸 750mm×700mm×1500mm(宽×深×高)
使用环境 电源 AC 220V±22V 50Hz±1Hz
功率 <0.8KW
真空 < -80 KPa
温度 10ºC-30ºC
湿度 <60%